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Fe-N薄膜的时效研究
本文利用对向靶直流磁控溅射制备Fe-N膜,并对其时间稳定性进行了跟踪实验.结果表明,制备的Fe-N膜在室温条件下放置半年以上,其膜的......
期刊
铁氮化合物
Fe-N薄膜
时效
磁控溅射法
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